Piezoelectric Analysis of Saw Sensor Using Finite Element Method

Vladimír KUTI?; Gabriel GáLIK; Ivan RYGER; Justín MURíN; Juraj HRABOVSKY; Juraj PAULECH; Tibor LALINSKY

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Piezoelectric Analysis of Saw Sensor Using Finite Element Method

机译：锯齿传感器的压电分析的有限元方法

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In this contribution modeling and simulation of surface acoustic waves (SAW) sensor using finite element method will be presented. SAW sensor is made from piezoelectric GaN layer and SiC substrate. Two different analysis types are investigated - modal and transient. Both analyses are only 2D. The goal of modal analysis, is to determine the eigenfrequency of SAW, which is used in following transient analysis. In transient analysis, wave propagation in SAW sensor is investigated. Both analyses were performed using FEM code ANSYS.

机译：在此贡献中，将介绍使用有限元方法对声表面波（SAW）传感器进行建模和仿真。 SAW传感器由压电GaN层和SiC衬底制成。研究了两种不同的分析类型-模态和瞬态。两种分析都是二维的。模态分析的目的是确定声表面波的本征频率，该频率用于随后的瞬态分析中。在瞬态分析中，研究了声表面波传感器中的波传播。两种分析均使用FEM代码ANSYS进行。

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来源
《Transactions of the VSB - Technical University of Ostrava: Mechanical Series》 |2013年第1期|共6页
作者
Vladimír KUTI?; Gabriel GáLIK; Ivan RYGER; Justín MURíN; Juraj HRABOVSKY; Juraj PAULECH; Tibor LALINSKY;
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中图分类机械、仪表工业;
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