高性能无源光电子材料与器件研究

摘要

面向我国互联网+、云计算数据中心及超级计算机建设中战略性高性能无源光电子材料与器件的迫切需求，本文提出要以掌握自主知识产权的新型硅基无源材料及器件为目标，以复杂多功能集成芯片技术为牵引，着力解决低损耗、跨周期大范围波长可调谐滤波器设计与材料制备；电光复合波导中锗硅异质外延材料双效应互耦合增强机理，极高速率调制器电光转换效率、能耗；多功能集成多层光交叉连接器顶层波导低温沉积技术、多层光波导高效耦合和隔离设计及制备；硅基超小型、低损耗、热不敏感无源合波器原理、工艺及产业化；光栅耦合器、滤波器和微电子器件的融合，片上温控及波长自动锁定算法及实现等关键技术。通过技术攻关，有望突破一批硅基光电子核心芯片关键技术，对信息产业发展和国家安全保障提供有效地支撑，服务于国家在智能化信息技术、先进半导体制造技术、新一代大规模集成电路等方面的战略需求。