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机译:练好基本功,加强高性能器件研究-国家自然科学基金2009年半导体科学领域申请项目概况分析
何杰;
国家自然科学基金委员会信息科学部 北京100085;
氮离子注入; SOI晶圆; 电荷密度; 总剂量辐照; 氮氧化物; SIMOX; 硅绝缘体; 离子注入剂量;
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