Estudio De Características Voltio-Ampéricas Y Peculiaridades De Funcionamiento De Un Vaporizador De Arco En Vacío

摘要

120 1920x1200 Normal 0 false false false EN-US X-NONE X-NONE Se estudia un vaporizador de arco con el cátodo de titanio que es destinado para desarrollar una tecnología de películas protectoras de metales. Se muestra que a pesar de que el vaporizador se alimenta por un voltaje constante la descarga de arco se enciende en un régimen de cortos pulsos de corriente que se relacionan con formación de grupos de manchas brillantes calentados en la superficie catódica. La rapidez de deposición de titanio se encuentra en un rango de 2-10 nm/s en dependencia de la corriente de arco. Las películas TiN sobre las muestras de acero SAE 1020 se depositan en presencia en medio del gas. Se encuentra que la dureza del recubrimiento depende de la presión de gas. La dureza máxima se detecta para las películas TiN producidos bajo una presión de nitrógeno de 0.8 Pa.   120 1920x1200 Normal 0 false false false EN-US X-NONE X-NONE A tope type arc sprayer with titanium cathode for a technology of metal protection films is studied. It is shown that despite the fact that the sprayer is fed by d.c. voltage, the arc discharge works in a regime with short current pulses which appear due to the heated spot groups formed on the cathode surface. The titanium deposition rate of 2-10 nm/s depends on the arc current value. The TiN films on the SAE 1020 steel samples are deposited in medium of the nitrogen gas. It is found that the film hardness value depends on the gas pressure. The maximum hardness is observed for the TiN films which are produced at a nitrogen pressure of 0.8 Pa.