Дегидроксилирование и образование дефектов поверхности кварцевого стеклаКУ-1 при отжиге

摘要

Рассмотрен механизм образования поверхностных дефектов при отжиге кварцевогостекла КУ-1. На основе экспериментальных данных показано, что основной причинойдефектообразования являются внутренние напряжения, возникающие придегидроксилировании приповерхностной зоны. При температуре отжига свыше 850°Свнутренние напряжения, благодаря высокой скорости релаксации, не превышаюткритических значений и поверхность не изменяется. При более низкой температуреотжига поверхностные трещины образуются уже через несколько десятков часовтермообработки.