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机译:使用CMOS-MEMS技术制造微机械电容开关
机译:通过多物理场仿真为集成CMOS-MEMS技术设计的电容式CMOS-MEMS传感器
机译:设计,制造,具有低致动电压和低温封装的微机动电容式分流器开关的表征
机译:具有低温直接晶圆粘合技术的电容式微机械超声换能器的制造
机译:采用CMOS-MEMS表面微加工技术制造的电容式麦克风
机译:微机械电容式加速度计的设计与制造。
机译:用于医学成像的基于聚合物的电容式微机械超声换能器的制造和测试
机译:使用CmOs-mEms技术制造微机械电容开关