机译:具有表面处理误差的静电MEMS谐振器的静态和动态力学行为
MEMSprocessing errorsection parameternonlinear vibration;
机译:静电MEMS谐振器具有排斥致动的动态行为
机译:MEMS拱形谐振器在转向附近的静态和动态行为以及初始形状的影响
机译:API-X70微合金钢热机械加工过程中动态和静态再结晶行为的研究
机译:卡西米尔力对静电驱动微机械谐振器静态和动态行为的影响
机译:激光干涉法用于表征微机电系统(MEMS)的静态和动态行为。
机译:双极静电致动微束谐振器的力学行为研究和结构设计
机译:具有表面处理误差的静电mEms谐振器的静动态力学行为