Grazing-incidence small-angle X-ray scattering (GISAXS) on small periodic targets using large beams. Erratum

Pflger M.; Soltwisch V.; Probst J.; Scholze F.; Krumrey M.

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Grazing-incidence small-angle X-ray scattering (GISAXS) on small periodic targets using large beams. Erratum

机译：使用大光束的小周期性目标上的掠入射小角度X射线散射（GISAXS）。勘误表

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An error in the paper by Pflüger, Soltwisch, Probst, Scholze & Krumrey [IUCrJ (2017), 431–438] is corrected.

机译：Pflüger，Soltwisch，Probst，Scholze和Krumrey [IUCrJ（2017），431–438]的论文中的错误已得到纠正。

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来源
《IUCrJ 》 |2018年第4期| 共页
作者
Pflger M.; Soltwisch V.; Probst J.; Scholze F.; Krumrey M.;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种
中图分类晶体学 ;
关键词
GRAZING-INCIDENCE SMALL-ANGLE X-RAY SCATTERINGGISAXSBEAM FOOTPRINTLITHOGRAPHIC INSPECTIONGRATINGS;

机译：掠入射小角度X射线散射GIS光束脚印形貌检查;

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