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机译:ALD技术的前身:赫尔辛基大学的贡献
Laboratory of Inorganic Chemlstry, Department of Chemistry, University of Helsinki, P.O.Box 55,00014 University of Helsinki, Finland;
Laboratory of Inorganic Chemlstry, Department of Chemistry, University of Helsinki, P.O.Box 55,00014 University of Helsinki, Finland;
Laboratory of Inorganic Chemlstry, Department of Chemistry, University of Helsinki, P.O.Box 55,00014 University of Helsinki, Finland;
Atomic layer deposition; ALD precursors; High-K materials; Phase change memory; Alkaline earth metals; Group 4 metals; Bismuth; Iridium; Silver;
机译:阿尔托大学(前赫尔辛基工业大学),主礼堂
机译:在22 nm节点CMOS技术中使用SiH
机译:高挥发性氨基亚甲基前体的合成,表征和DFT计算以及用于CVD / ALD技术的薄膜研究
机译:通过前体设计实现具有成本效益的CVD / ALD处理
机译:用于Li-O2电池的具有ALD功能的阴极催化剂架构。
机译:采用22 nm节点CMOS技术的SiH4和B2H6前体的ALD W填充金属功能的pMOSFET
机译:PMOSFET以22nm节点CMOS技术为单位使用SIH4和B2H6前体的ALD W填充金属
机译:中国重庆建筑大学与芬兰赫尔辛基理工大学建筑物理学合作研讨会(第二届)。 1996年9月16日至25日在中国重庆举行。会议录