軟x線式オンライン厚み計測装置

摘要

X線式厚み計測装置は，光学フイルムおよrnび電子材料等の厚み約1～1,000μmのフイrnルムを対象としており，放射線障害防止法のrn適用を受けない軟X線を使用している．測定rn原理はX線をシートに照射し，X線の減衰rn量を厚みに換算する．電源を遮断すればX線rnの発生を即座に停止でき，安全面においてもrnシャッター機構がついており，電源ON時でrnもシャッターを閉めることでX線を遮断できrnる．免許も不要で，管理面および安全性からrnβ線式厚み計の更新にも適している．