机译:不同层数的Mo / Si多层膜的界面粗糙度,表面粗糙度和X射线软反射率
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800;
multilayers; deposition and fabrication; surface measurements; roughness; reflection; X-ray optics;
机译:不同层数的Mo / Si多层膜的界面粗糙度,表面粗糙度和X射线软反射率
机译:可变厚度对的直流溅射Mo / B_4C多层反射镜的界面粗糙度的研究,用于7 nm软X射线偏振器
机译:通过共面漫射X射线散射研究固态多层膜的界面粗糙度和粗糙度相关性
机译:EUVL光学元件的基板恢复层:对多层反射率和表面粗糙度的影响
机译:表面粗糙度和界面层对(3)碳-碳化硅/硅的IR反射率的影响。
机译:将界面粗糙度纳入多层和超晶格的动态X射线衍射的递归矩阵形式中
机译:使用X射线反射率和TEM观察估算表面和界面粗糙度
机译:通过X射线散射表征多层中界面粗糙度和其他缺陷。