Progress in building materials analysis (Part 1)

摘要

In this study two types of microscopes, a FEI XL-30 ESEM-FEG and a FEI Nova NanoSEM 230, were used which are capable of different high-resolution imaging techniques in order to characterize water containing and charging samples. In this field the environ-mental-SEM (ESEM) - technology in connection with high resolution electron microscopy is especially important, since water vapor can be used as gas in the sample chamber. Thus, water containing structures and phases can be investigated without sophisticated preparation i. e. in their native states. Part 1 of the article summarizes the experimental setup and the optimization measures, such as low voltage SEM. The newly developed NanoSEM combined with Helix detector, cryo-SEM, EDS and EBSD capabilities offers various advantages.%In der vorliegenden Studie wurden zwei Rasterelektronenmikroskope, ein FEI XL-30 ESEM-FEG und ein FEI Nova NanoSEM 230, eingesetzt, die verschiedenste Möglichkeiten der Hochauflösungsabbildung bieten, um wasserhaltige und sich aufladende elektrisch nichtleitende Proben zu charakterisieren. In diesem Zusammenhang ist die ESEM-Technik (Environmental Scanning Electron Microscope) in Verbindung mit der hochauflösenden Elektronenmikroskopie besonders wichtig, da Wasserdampf als Probenkammeratmosphäre genutzt werden kann. Deshalb können wasserhaltige Strukturen und Phasen ohne komplizierte Präparationsverfahren, d. h. in ihrem natürlichen Zustand, untersucht werden. InTeil 1 dieses Beitrags werden der experimentelle Aufbau und die Maßnahmen zur Abbildungsoptimierung, wie z.B. die Mikroskopie bei niedrigen Beschleunigungsspannungen, zusammengefasst. Das neu entwickelte NanoSEM, in Kombination mit den Möglichkeiten des Helix-Detektors, des Cryo-REMs sowie der Analytik mittels EDS und EBSD bietet viele weitere Vorzüge.