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机译:低能离子束对δ掺杂硼/硅交替层深度分布的SIMS研究
Nippon Steel Corporation, Advanced Technology Research Laboratories, Futtsu, Chiba 293-8511, Japan;
shallow junction; low-energy ion beam; depth profiling; atomic mixing; roughness;
机译:Ir_4(CO)_7〜+的大分子离子束对硅中超浅硼Delta层的二次离子质谱法深度分析
机译:具有低能量铯离子的有机三角体层的TOF-SIMS深度分析:深度分辨率评估
机译:低能氧一次离子束入射角优化下SIMS法研究硼穿透栅氧化物层的研究
机译:硅上离子束合成的Al2O3SiO2复合氧化物层的XPS深度分布
机译:使用ToF-SIMS和簇离子束进行分子深度分析和楔形坑斜切
机译:TOF-SIMS深度分析海藻糖:分析梁剂量对深度剖面质量的影响
机译:低能量氧原色束透明场膜氧化物层通过栅极渗透层的研究
机译:si(001)上三角形掺硼层的原子分辨结构和键合。