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机译:尺寸可调的周期性硅化镍硅纳米点阵列在硅衬底上的生长
Department of Chemical and Materials Engineering, National Central University, Chung-Li City, Taoyuan, Taiwan, ROC;
nickel silicide; nanosphere lithography; self-assembly; nanodots; epitaxy; thin films;
机译:尺寸可调的周期性硅化镍硅纳米点阵列在硅衬底上的生长
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