机译:中能O_2〜+溅射条件下硅瞬态区溅射速率变化的评估
NTT Advanced Technology Corp., 3-1 Atsugi, Kanagawa 243-0128, Japan;
sputtering rate; transient region; delta layers; mri;
机译:拖曳能量O_2〜+离子轰击下非晶Si表面的瞬态溅射
机译:低能O_2〜+和Ar〜+离子轰击在Si溅射产率中的表面瞬变效应
机译:硅的超低能O-2(+)溅射中的表面瞬态效应
机译:通过RF磁控溅射获得的Morphotopic相位边界区域的薄PZT层的相位状态的变化,其具有不同的目标基板距离
机译:反应溅射中低能粒子轰击控制薄膜硅微结构。
机译:在硅的低能氩离子轰击下从波纹到刻面结构的转变:了解阴影和溅射的作用
机译:在硅(100)衬底上立方碳化碳铝铝膜的溅射:基板温度和沉积功率的影响
机译:溅射原子的共振电离:硅晶片近表面区域的定量分析