机译:微电池技术概述及相关的多层封装工艺
CEA-Grenoble, DRT/LITEN/DTNM, 17, Avenue des Martyrs, F-38054 Grenoble Cedex 9, France;
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microbattery; encapsulation; PECVD; MEMS; photolithography;
机译:用于锂微电池的化学稳定的PVD多层封装
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