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机译:离子轰击对TiZrN薄膜结构和性能的影响
Natl Appl Res Labs, Instrument Technol Res Ctr, Hsinchu, Taiwan;
Natl Tsing Hua Univ, Dept Engn & Syst Sci, Hsinchu 30013, Taiwan;
Natl Tsing Hua Univ, Dept Engn & Syst Sci, Hsinchu 30013, Taiwan;
Natl Appl Res Labs, Instrument Technol Res Ctr, Hsinchu, Taiwan;
Natl Appl Res Labs, Instrument Technol Res Ctr, Hsinchu, Taiwan;
Ion bombardment; TiZrN; Hardness;
机译:二次离子轰击对铂薄膜组成,结构和表面性能的影响
机译:真空退火TiZrN薄膜的微观结构,力学性能和氧化行为
机译:偏置对不平衡磁控溅射沉积TiZrN薄膜结构和性能的影响
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机译:沉积过程中离子轰击对氢化非晶硅锗薄膜和光伏器件性能的影响。
机译:过渡金属离子掺杂对氧化锌薄膜结构和磁性能的影响
机译:高能轰击对溅射氧化锌膜结构形成的影响:原子生长模型的发展及其在调整薄膜性能中的应用