...
机译:用于约瑟夫森集成电路应用的反应溅射氮化铌薄膜
机译:铌约瑟夫森集成电路中通过超导薄膜耦合的互感
机译:反应性直流磁控溅射溅射沉积铌钛氮化物的过程模拟
机译:反应磁控溅射沉积氮化钛薄膜在MEMS中的应用
机译:CMOS兼容等等离子体束辅助反应磁控溅射硅氮化硅膜,用于光子集成电路
机译:在高温“智能”摩擦应用中,在封闭场不平衡磁控溅射中反应性沉积的氮化铝压电薄膜。
机译:用于压电应用的氮化铝(002)薄膜的反应溅射:综述
机译:反应磁控溅射沉积超导铌 不同靶尺寸的氮化钛薄膜