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机译:通过在室温下注入硼离子并随后在1150和1300℃的相对低温下进行退火,可以实现重掺杂金刚石的显着p型活化
Kanagawa Univ, Dept Math & Phys, 2946 Tsuchiya, Hiratsuka, Kanagawa 2591293, Japan;
Kanagawa Univ, Dept Math & Phys, 2946 Tsuchiya, Hiratsuka, Kanagawa 2591293, Japan;
Kanagawa Univ, Dept Math & Phys, 2946 Tsuchiya, Hiratsuka, Kanagawa 2591293, Japan;
机译:在室温下通过硼离子注入完成的重掺杂金刚石的显着P型激活,随后在1150和1300°C的相对低温下进行退火
机译:高浓度锗和硼掺杂与低温退火相结合的金属/ p型硅界面的超低接触电阻率
机译:通过化学气相沉积在室温下通过离子注入在室温下通过离子植入浓度的极高效率激活,通过化学气相沉积,在外延合成的金刚石膜中进行各种掺杂浓度
机译:房间温度植入期间空位增强硼活化和低温退火
机译:类金刚石碳和碳化硼涂层对铝的摩擦学性能:在不同温度和环境下的附着力和摩擦力。
机译:重硼掺杂金刚石电极的高温氧化:微观结构和电化学性能的修改。
机译:通过离子注入和激光热退火的GE重掺杂GE的低温停用
机译:在> 1,100℃的温度下对si注入的氮化镓进行注入活化退火