机译:激光退火后亚非晶硅中的掺杂物活化
机译:使用纳秒激光退火的(111)硅衬底上原位磷掺杂硅的缺陷还原和掺杂剂活化
机译:使用多脉冲纳秒激光退火的原位磷掺杂硅的掺杂剂活化
机译:磷掺杂剂扩散,活化和退火。使用红外激光器合成N型硅薄膜
机译:3D顺序低温顶层设备使用掺杂剂激活与准分子激光退火和紧张硅作为性能助推器
机译:硅结构的脉冲激光退火,用于结晶和掺杂剂激活。
机译:通过水下激光退火结晶成多晶硅薄膜并同时灭活电缺陷
机译:磷掺杂剂扩散,活化和退火。使用红外激光器合成N型硅薄膜
机译:脉冲激光退火激活硅中si-N模式