机译:具有微小界面钝化层的硅基板上的SrTiO_3薄膜电容器
Institut fuer Werkstoffe der Elektrotechnik 2, RWTH Aachen University, Sommerfeldstrasse 24, D-52074 Aachen, Germany JARA-Fundamentals of Future Information Technology, Forschungszentrum Juelich GmbH, D-52425 Juelich, Germany;
rnInstitut fuer Werkstoffe der Elektrotechnik 2, RWTH Aachen University, Sommerfeldstrasse 24, D-52074 Aachen, Germany JARA-Fundamentals of Future Information Technology, Forschungszentrum Juelich GmbH, D-52425 Juelich, Germany;
rnJARA-Fundamentals of Future Information Technology, Forschungszentrum Juelich GmbH, D-52425 Juelich, Germany Institut fuer Festkoerperforschung, Forschungszentrum Juelich GmbH, D-52425 Juelich, Germany;
JARA-Fundamentals of Future Information Technology, Forschungszentrum Juelich GmbH, D-52425 Juelich, Germany Institut fuer Festkoerperforschung, Forschungszentrum Juelich GmbH, D-52425 Juelich, Germany;
Institut fuer Werkstoffe der Elektrotechnik 2, RWTH Aachen University, Sommerfeldstrasse 24, D-52074 Aachen, Germany JARA-Fundamentals of Future Information Technology, Forschungszentrum Juelich GmbH, D-52425 Juelich, Germany;
rnSolarWorld Innovations GmbH, Berthelsdorfer Strasse 111 A, D-09599 Freiberg, Germany Qimonda Dresden i. In. GmbH & Co. OHG, D-01099 Dresden, Germany;
rnSGS Germany GmbH, Zeisigweg 13, D-01737 Kurort Hartha, Germany Qimonda Dresden i. In. GmbH & Co. OHG, D-01099 Dresden, Germany;
rnNaMLab gGmbH, Noethnitzer Strasse 64, D-01187 Dresden, Germany Qimonda Dresden i. In. GmbH & Co. OHG, D-01099 Dresden, Germany;
rnInstitut fuer Werkstoffe der Elektrotechnik 2, RWTH Aachen University, Sommerfeldstrasse 24, D-52074 Aachen, Germany JARA-Fundamentals of Future Information Technology, Forschungszentrum Juelich GmbH, D-52425 Juelich, Germany Institut fuer Festkoerperforschung, Forschungszentrum Juelich GmbH, D-52425 Juelich, Germany;
机译:具有硅/锗界面钝化层的n-GaAs衬底上的金属栅HfO_2金属氧化物半导体电容器
机译:在硅(100)衬底上直接生长SrTiO_3(100)层;用作DyBa_2Cu_3O_(7-#delta#)薄膜生长的缓冲层
机译:InP衬底上原子层沉积HfO2薄膜的超薄ZnS和ZnO界面钝化层
机译:SRTIO_3功能陶瓷薄膜通过自组装的单层制备,在硅基板上具有液相沉积方法
机译:对具有薄界面钝化层的III-V衬底上基于二氧化ha的MOSCAP和MOSFET的研究
机译:利用远程等离子体原子层沉积系统沉积的HfO2薄膜对硅进行表面钝化
机译:亚纳米界面氧化硅薄膜的钝化性能
机译:中间层对硅基板上超薄铜,金薄膜划痕附着性能的影响