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机译:通过热SiO_2 /等离子体增强化学气相沉积SiN叠层对n型直拉硅衬底进行表面钝化
Institut fuer Solarenergieforschung Hameln/Emmerthal (ISFH), Am Ohrberg 1, D-31860 Emmerthal, Germany;
Institut fuer Solarenergieforschung Hameln/Emmerthal (ISFH), Am Ohrberg 1, D-31860 Emmerthal, Germany;
Institut fuer Solarenergieforschung Hameln/Emmerthal (ISFH), Am Ohrberg 1, D-31860 Emmerthal, Germany Institut fuer Materialien und Bauelemente der Elektronik, Universitaet Hannover, Schneiderberg 32, D-30167 Hannover, Germany;
Institut fuer Solarenergieforschung Hameln/Emmerthal (ISFH), Am Ohrberg 1, D-31860 Emmerthal, Germany Institute of Solid-State Physics, University of Hannover, Appelstrasse 2, D-30167 Hannover, Germany;
机译:直接等离子增强化学气相沉积SiN_x薄膜的化学计量和硅衬底表面粗糙度对表面钝化的影响
机译:使用等离子增强化学气相沉积SiN膜和薄热SiO_2 /等离子SiN叠层对硅太阳能电池进行表面钝化
机译:等离子体增强化学气相沉积层钝化钝化的直拉硅制成的生命周期样品中的体积和表面相关降解
机译:SIN沉积温度对使用热SIO_2 / PECVD-SIN堆的N型CZ硅基板表面钝化的影响
机译:在AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管上进行等离子增强化学气相沉积的氮化硅钝化的热稳定性。
机译:CVD石墨烯上等离子增强化学气相沉积法制备的无转移反型石墨烯/硅异质结构
机译:由由等离子体增强的化学气相沉积层堆叠钝化的寿命和表面相关的终身样品中的寿命样本中的寿命样本