机译:由由等离子体增强的化学气相沉积层堆叠钝化的寿命和表面相关的终身样品中的寿命样本中的寿命样本
机译:等离子体增强化学气相沉积层钝化钝化的直拉硅制成的生命周期样品中的体积和表面相关降解
机译:光照对单晶硅表面钝化的影响,该单晶硅表面被沉积有等离子体增强化学气相沉积SiN_x的原子层沉积Al_2O_3钝化
机译:通过热SiO_2 /等离子体增强化学气相沉积SiN叠层对n型直拉硅衬底进行表面钝化
机译:线圈到样品的距离对连续QSSPC有效寿命测量的影响:在钝化了薄非晶硅层的硅晶片上的应用
机译:将等离子体增强化学气相沉积的氮化硅薄膜建模为有限的几何形状
机译:等离子体增强化学气相沉积中薄膜硅逐层生长的原因
机译:硅片上等离子体增强化学气相沉积氧化硅膜的微桥测试