机译:用于非平面硅结构的等离子体掺杂的砷硅氧合金的形成,性质和稳定性
Tokyo Electron America, Inc., Austin, Texas 78741, USA;
Department of Chemical Engineering, University of Texas at Austin, Austin, Texas 78712, USA;
Tokyo Electron Ltd., Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan;
Tokyo Electron Ltd., Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan;
Tokyo Electron Ltd., Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan;
Department of Chemical Engineering, University of Texas at Austin, Austin, Texas 78712, USA;
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