机译:使用随机编码掩膜的相干衍射成像
CNRS and D.I., UMR 8548, Ecole Normale Superieure, 45 Rue d'Ulm, 75005 Paris, France,Linac Coherent Light Source, SLAC National Accelerator Laboratory, 2575 Sand Hill Road, Menlo Park, California 94025, USA;
CNRS and D.I., UMR 8548, Ecole Normale Superieure, 45 Rue d'Ulm, 75005 Paris, France;
Linac Coherent Light Source, SLAC National Accelerator Laboratory, 2575 Sand Hill Road, Menlo Park, California 94025, USA;
机译:基于相干衍射成像的相干极紫外散射显微镜对极紫外掩模图案的成像
机译:基于相干衍射成像方法聚焦EUV聚焦的EUV显微镜的EUV掩模缺陷评估
机译:通过相干衍射成像对极紫外掩模上的小相结构进行定量相成像
机译:照明NA对相干衍射成像EUV掩模检查的影响
机译:缩小衍射极限的距离:近波长受限的台式软X射线相干衍射成像
机译:光子稀疏随机投影的实验3D相干衍射成像
机译:使用随机编码掩模的相干衍射成像