机译:氮化硅覆盖的亚纳米非晶硅对c-Si表面的钝化
Research School of Engineering, The Australian National University, Canberra, Australian Capital Territory 0200, Australia;
Research School of Engineering, The Australian National University, Canberra, Australian Capital Territory 0200, Australia;
Research School of Engineering, The Australian National University, Canberra, Australian Capital Territory 0200, Australia;
Research School of Engineering, The Australian National University, Canberra, Australian Capital Territory 0200, Australia;
Research School of Engineering, The Australian National University, Canberra, Australian Capital Territory 0200, Australia;
机译:通过用PECVD氮化硅覆盖的ALD氧化钽钝化c-Si表面
机译:使用响应面方法对n型晶体硅进行最佳氢化非晶硅/氮化硅双层钝化
机译:使用响应面方法对n型晶体硅进行最佳氢化非晶硅/氮化硅双层钝化
机译:C-Si的表面钝化使用氮氧化硅胶凝层胶凝层的热稳定性
机译:非晶态二氧化硅和非晶态氮化硅中三价硅中心的磁共振研究。
机译:用于性能提高的表面电磁波生物传感器的氢化非晶硅氮化硅光子晶体
机译:利用多功能扩展热等离子体技术获得高质量沉积的氮化硅,二氧化硅和非晶硅获得的高质量表面钝化
机译:基于硅和氮的表面涂层的研究:从非晶硅到氮化硅:进展报告,1987年7月1日 - 1988年6月30日