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Double-gate thin film transistor with suspended-gate applicable to tactile force sensor

机译：双栅极薄膜晶体管悬挂式栅极适用于触觉力传感器

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Schematic diagram of process flow for IGZO suspended-gate TFT with an air gap

机译：具有气隙的IGZO悬挂栅极TFT的过程流程示意图

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期刊名称 Nano Convergence
作者
An Hoang-Thuy Nguyen; Manh-Cuong Nguyen; Seongyong Cho; Anh-Duy Nguyen; Hyewon Kim; Yeongcheol Seok; Jiyeon Yoon; Rino Choi;
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作者单位

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年(卷),期 2020(-1),-1
年度 2020
页码 -1
总页数 6
原文格式 PDF
正文语种
中图分类生化遗传学;生化药理学;
关键词

机译：机械传感器;气隙;膜栅极;光致抗蚀剂牺牲;触觉力传感器;
入库时间 2022-08-21 12:13:41

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