机译:原子层沉积前体通过聚合物掩膜层的传输行为:对区域选择性原子层沉积的影响
机译:使用四(二甲基氨基)钛和H_2O前驱体通过原子层沉积来晶圆级制备共形原子层TiO_2
机译:原子层沉积和化学气相沉积前驱体选择方法在锶钡钡前驱体中的应用
机译:使用新型的基于羰基的钌前驱体和非氧化性反应物进行钌薄膜的低温原子层沉积;在铜金属化种子层上的应用
机译:金属膜的原子层沉积:从前驱物合成到膜沉积
机译:杂原子镍的原子层沉积NH3的Ni前体和缺陷的选择性沉积石墨烯
机译:从前体化学到气体传感器:来自氧化锌层的等离子体增强的原子层沉积工艺,用于阻气和传感器应用的非渗透锌前体
机译:氧化欠电位沉积硫的薄层电化学研究及其在Cds电化学原子层外延沉积中的应用。 2. sTm研究。 (重新公布新的可用性信息)