Nanofabrication Mechanochemical processed layer Atomic force microscopy Natural oxide layer;
机译:使用中性束蚀刻技术通过低损伤工艺提高硅微机械谐振器的机械品质因数
机译:基于IBE和RIE工艺图案化的铝掩模的高深宽比硅微结构的制备
机译:飞秒激光直接硬掩模写入,用于选择性地进行微米级的微米级倒金字塔构图
机译:使用大型图案测试面罩直接测量铜化学机械平面抛光(CMP)过程的平面化长度
机译:划刻的硅与环氧化物,醛和酰氯的反应性;通过TOF-SIMS分析划刻硅;以及用碳化钨球进行化学机械表面构图。
机译:直接图案化锌 - 氧化锌用于溶液加工的薄膜晶体管和通过电液动力喷射印刷的互补逆变器
机译:通过机械加工对氧化硅掩模进行低损伤的直接构图