机译:用于制造高斯,准随机2D结构和黑硅结构的散斑光刻
机译:通过胶体光刻和金属辅助化学蚀刻制造有序管状多孔硅结构:二维多孔硅结构的SERS性能
机译:使用两步微/纳米球刻蚀技术制造的二维SiO2分层微/纳诺德结构的超疏水性
机译:纳米球面光刻技术制造的二维光子晶体结构
机译:使用软光刻技术来制造纳米级结构。
机译:用低成本和大面积纳米光刻制造的锥形硅纳米结构的全向和宽带抗反射效果
机译:采用193nm光刻技术制备的硅纳米光子线结构
机译:通过掩模离子束光刻和干蚀刻制造的亚微米结构