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机译:聚焦粒子束诱导加工
Michael Huth; Armin Gölzhäuser;
机译:聚焦电子束诱导加工的未来
机译:使用聚焦电子束诱导工艺制造的20 nm以下图案的尺寸和形状控制
机译:YAG激光在液氮中聚焦和低温激光处理颗粒引起的气泡动力学
机译:纳米层析成像化学分析的新途径:聚焦离子束诱导的俄歇电子能谱。
机译:使用聚焦光束反射率测量作为连续制粒-干燥-铣削过程的过程分析技术工具进行实时粒度分析
机译:聚焦粒子束诱导处理
机译:用于确定用于光刻的元件的粒子束诱导的加工过程的过程分辨率的设备和方法
机译:用于相对于其支撑可移动工件处理设备的框架,组合件,框架,用于发射激光束的设备,用于防止颗粒弹回回到保持在体内的透镜的过程,以将激光束聚焦到喷嘴中的出口,用于制造工件的系统,航空光学激光系统,用于使激光束发射装置相对于工件运动的方法,激光切割系统,工作台以及用于产生激光束的设备
机译:一种使用负载粒子束处理基板的方法,以及用于实施该方法的聚焦装置。
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