e-nose system piezotransduced single-crystal silicon bulk acoustic resonators gas sensing MEMS;
机译:基于高Q SAM修饰的压电转导单晶体硅体声谐振器的新型气体传感器阵列
机译:使用单个多共振模式压电换能硅体声波谐振器(PSBAR)作为虚拟传感器阵列检测和鉴别挥发性有机化合物
机译:基于高Q谐振箱的二维阵列散装声波谐振器的质量因子升压
机译:高Q压电换能器单晶硅体声波谐振器阵列检测挥发性有机化合物
机译:散装声模式硅微机械谐振器中的非线性
机译:由硅纳米带场效应晶体管和体声波谐振器组成的双模式气体传感器:以氟利昂为例
机译:基于高Q sam改性压电转换单晶硅体声谐振器的新型气体传感器阵列