magnetometer MEMS capacitance Lorentz force simulation;
机译:基于MEMS的共振磁强计的设计与分析
机译:基于平面外电磁感应的谐振MEMS磁力计
机译:一种新型全光学传感器设计,基于在MEMS加速度计的光子晶体微观结构中的可调谐谐振纳米岩
机译:MEMS表面谐振磁力计的设计
机译:基于结构和参数的本征求解器用于基于MEMS的仿真设计
机译:基于洛伦兹力的微型共振扭转磁强计
机译:基于MEMS的共振磁强计的设计与分析
机译:极其灵敏的基于pZT的mEms磁强计,用作定向传感器。