影响大尺寸ITO靶材冷压质量的因素

摘要

对冷压大尺寸ITO靶材毛坯出现的靶材质量问题进行详细分析.实验表明:选用质量比为9∶1的In2O3与SnO2粉末.将粉末配成固含量65％的溶液,添加ITO粉末质量的2％～3％的PVA粘结剂及2.5％的分散剂(活性剂)及稳定剂等,通过球磨,喷雾制粉,使粉末的含水量达到6％,过150目筛的粉末.采用改进模具、分段加压的冷压工艺,在冷压压力50～60MPa下,冷压大尺寸ITO靶材,可有效消除靶材毛坯掉边、分层及断裂等质量问题.