含裂纹压电驱动的柔顺MEMS机构刚度特性分析

摘要

研究了一种由压电陶瓷驱动器(PZT)驱动的柔顺微机电系统(micro electro-mechanical system,简称MEMS),具有三自由度并联微位移工作台(RRR机构)。通过有限单元法建立了柔顺机构的平面模型,在应力集中处引入裂纹,分析裂纹对机构输出参数位移和系统刚度的影响。通过比较无裂纹和有裂纹情况下的结果,较为直观地给出了裂纹对RRR机构输出参数的影响程度。