磁增强反应离子刻蚀系统中的发射光谱诊断技术

摘要

利用发射光谱诊断技术研究了磁增强反应离子刻蚀系统中CF4＋O2的辐射谱、谱线成分及强度，分析了谱线强度与射频辐射功率、氧气含量的关系，并与没有磁场存在时的情况作了比较。