氩对硅烷等离子体的稀释效应

摘要

本文提出了等离子体光发射谱（OES）输运因子（Tp）的概念。测量和分析了不同稀释度下硅烷等离子体OES的空间分布特性，包括其峰值（Im）和输运因子的变化规律，以寻求高速沉积的途径。检测了掺杂了硅烷的氩气的OES，以讨论硅烷等离子体中氩稀释的物理效应。在有关物理问题的讨论中，把OES和激光诱导荧光（LIF）谱的两种结果结合起来，更有助于对问题的深入理解。