Ta2O5介质膜和Ta2O5—SiO双层介质膜绝缘特性的实验研究

摘要

本文介绍了采用直流磁控反应溅射沉积的Ta_2O_5介质膜及由用同样方法沉积的Ta_2O_5膜和电阻式蒸发沉积的SiO膜组成的双层介质膜的绝缘特性。