激光干涉U形压力计

摘要

这是在意大利所进行的一项预研性工作。利用了激光和超声波干涉技术,研究了影响微气体压力测量精度的各种因素。介绍了油介质 U 形压力计主体系统的结构和测试方法、测液面光学干涉系统的设计、干涉条纹的自动测试、U 形计对电容薄膜规的校准以及改进 U 形压力计的方法。结果表明:用 U 形压力计校准满量程为133Pa 的电容薄膜规是完全可能的。在现有系统上校准的最佳区问为10^(-1)～10^(-3)Pa。这里所介绍的 U 形压力计还只是样机。欲要作为实用的基础真空标准还有待继续完善。