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温度对薄膜渗氦型漏孔漏率的影响研究

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摘要

介绍了气体微流量标准装置对漏率的校准方法.在温度16～50℃范围内,对两支薄膜渗氦型漏孔进行了校准,并给出了温度与漏率的关系表达式.得出了研究结论.

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来源
《真空与低温》 |2001年第4期|200-203|共4页
作者
冯焱; 张建军; 张涤新;
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作者单位

兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类真空检漏与仪器;X射线、紫外线、红外线;
关键词
漏率校准; 渗氦型漏孔;

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