a-C:H薄膜组成及结构

摘要

含氢非晶碳(a-C:H)薄膜主要由SP3C、SP2C和H 3种"元素"组成,在它们的三元相图中,a-C:H薄膜具有特定的组成区域.由于IR分析法对SP3C/SP2C分析存在着系统误差,因而导致所得结构偏离该组成域.通过对IR法的结果分析发现,SP3C含量偏高,SP2C含量偏低;a-C:H薄膜中SP2C主要以非质子化形式存在,其含量可高达67%;质子化的SP2C仅占Sp2C总量的10%左右.a-C:H薄膜是受到较高约束的空间立体网络结构.