OLED用ITO导电玻璃的研究进展

摘要

氧化铟锡(ITO)膜的电阻率及表面粗糙度将影响有机电致发光器件(OLED)的发光效率及其使用寿命.通过选择适当的工艺条件以及表面处理可以改善ITO膜的表面粗糙度、可见光透过率、电导率和功函数,以提高OLED的稳定性、发光效率和使用寿命.对薄膜的光学和电学性能进行了分析,提出了改进工艺的方向.