电子轰击离子源离子传输效率的数值模拟与实验研究

摘要

针对兰州空间技术物理研究所自研的四极质谱计用电子轰击离子源(EI源)的离子传输效率进行了数值模拟和实验研究。利用模拟仿真软件Simion8.1,采用控制变量法研究了EI源各电极参数对离子传输效率的影响,并进行了实验验证,实验结果与仿真结果一致。结果表明,降低电离室电压、增大电离室与引出极间电压差、调节聚焦极电压至最优值可提高EI源离子传输效率。在四极质谱计中,电离室电压、引出极电压受其他相关因素影响,可调节范围很小,提高EI源离子传输效率的有效方法是调节聚焦极电压。