基于ELCR的双模微波湿度传感器

摘要

基于电耦合电感电容谐振器(ELCR)设计并制造了一种新型聚酰亚胺微波湿度传感器(PMHS),PMHS的双谐振点位置与幅度可按检测需求灵活调节。实验结果显示:在10%~90%RH的湿度范围内,PMHS在1.2 GHz处谐振点偏移量和2.085 GHz处反射系数增量与湿度变化成线性关系,双模线性度R^(2)分别为0.9854和0.9987,两者的检测灵敏度分别为83.8 kHz/%RH和0.117 dB/%RH。该研究表明:多谐振微波传感器可作为一种新方案实现宽范围、高线性度、高灵敏度的湿度检测。