二氧化硅薄膜材料热传导尺寸效应的实验研究

摘要

对微米SiO2薄膜材料沿膜面方向热传导尺寸效应进行了实验研究.结果表明,膜厚从微米数量级的尺寸开始,其传热的热导率就已开始体现出鲜明的膜厚尺寸依赖特性(即size effect),经由微观能量输运理论分析后,得到了实验与理论相吻合的结果.