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微型半球陀螺仪的误差源研究

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讨论了微型半球陀螺仪特有的一些误差源,主要有感测电路上的量测误差、电极与薄壳间电容的非线性效应误差、温度变化所引发的热漂移、线加速度所引发的误差以及非对称结构和非对称阻尼误差等.对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2007年第1期|30-32|共3页
作者
倪受东; 吴洪涛; 嵇海平; 朱剑英;
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作者单位

南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016;

南京工业大学,机械与动力工程学院,江苏,南京,210009;

南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016;

南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016;

南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类导航仪表及传感器;
关键词
微型半球陀螺仪; 量测误差; 非线性效应; 热漂移; 结构误差;

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