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刘晓为; 李金锋; 揣荣岩; 施长治; 陆学斌; 吴娅静;
哈尔滨工业大学,MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001;
沈阳工业大学,信息科学与工程学院,辽宁,沈阳,110023;
多晶硅纳米薄膜; 电学特性; 掺杂浓度; 膜厚;
机译:瞬态电流分析在多晶硅栅中带隙态电学特性的实验研究
机译:分子动力学模拟的多晶硅纳米薄膜的面外热导率
机译:电流诱导的不同温度下沉积的多晶硅纳米薄膜的再结晶及其对压阻灵敏度和温度系数的影响
机译:铝诱导结晶法制备的多晶硅层上的多晶硅纳米薄膜的载流子寿命
机译:形态变化引起的多晶硅的电学特性和表面性能及其在微纳米技术中的应用。
机译:不同沉积温度下多晶硅纳米薄膜的压阻灵敏度线性和电阻时间漂移
机译:不同沉积温度下多晶硅纳米薄膜的压阻灵敏度,线性和电阻时间漂移
机译:大气湿空气的电学特性:系统的实验研究
机译:顺序溶剂铸造,以改善多晶硅薄膜的结构有序性和电学特性
机译:纳米薄膜转移片,纳米薄膜转移片的制造方法以及将纳米薄膜层转移到被粘物中的方法
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