纳米级微动试验台的隔振设计及仿真实验(英文)

摘要

通过二维隔振系统的力学分析 ,得到关于质量、刚度、阻尼比三方面结构 ,用以指导多自由度隔振系统的设计 ,设计出纳米级微动试验台的隔振系统。仿真实验表明 ,该系统具有良好的隔振效果。此隔振设计方法对超精密机床、超微定位机构等超低传递率隔振设计有一定的参考价值。