纳米级微动试验台隔振理论研究

摘要

隔振技术是纳米技术中的关键问题之一。通过二维隔振系统的力学分析,设计出了纳米级微动试验台的隔振系统。该系统具有良好的隔振效果,对超精密机床、超精定位机构等的超低传递率隔振设计有一定的参考价值。