NH3对DBD降解SF6影响的试验研究

摘要

随着SF6在电力工业中的大量使用,气体绝缘设备产生的SF6废气急剧增加,未经处理的SF6废气会对环境产生严重影响,因此对SF6进行处理就显得尤为重要.本文基于介质阻挡放电(DBD)等离子体技术在NH3的协同作用下对SF6进行降解处理.研究表明:NH3能够促进SF6分解,提高SF6的降解率和降解效率.其中,NH3和SF6的体积分数比为1:1时具有最好的协同促进作用,90W输入功率下可以使体积分数为2％的SF6在50mL/min的流速下降解率达到97.5％;同时NH3参与下也会使SF6分解更加彻底,析出固态S单质、[NH4]2SO4、NH4F和NH4HF2;气体产物主要有SiF4、SiH4、SO2F2、SO2、SOF4、SOF2、S2F10、SF4及氮氧化物(NOx)等.